真空爐常用真空儀表主要有兩大類：一是真空測量儀表，也稱真空計(jì)；二是真空系統(tǒng)供氣流量儀表，也稱氣體流量計(jì)。     

1．真空測量儀表 

(1)靜態(tài)變形真空計(jì)(也稱彈性元件真空計(jì))  利用與真空相連的容器表面受到大氣的作用，以產(chǎn)生彈性變形來測量壓強(qiáng)。 

(2)靜態(tài)液位真空計(jì)  利用u形管兩端的液面差來測量壓強(qiáng)。     

(3)壓縮式真空計(jì)  其原理是在U形管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用u形管真空計(jì)測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測壓力。     

(4)熱傳導(dǎo)真空計(jì)利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。 

(5)熱輻射真空計(jì)利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理制成。     

(6)電離真空計(jì)利用低壓下氣體分子被熱粒子碰撞而電離，產(chǎn)生的離子流隨壓強(qiáng)而變化的原理制成，如熱陰極電離真空汁、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。      

(7)放電管指示器利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。 

(8)其他真空計(jì)有振膜式真空計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)、場致顯微儀、四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。     

2．真空系統(tǒng)供氣流量儀表 

(1)氣體流量計(jì)  用真空爐進(jìn)行滲碳、滲氮等化學(xué)熱處理工藝時(shí)，需要向真空室內(nèi)輸入氣體或液體滲劑，通常使用轉(zhuǎn)子流量計(jì)檢測與控制流量。    

(2)真空針閥 真空微調(diào)閥用來調(diào)節(jié)進(jìn)入真空室內(nèi)的氣體或液體介質(zhì)的流量，閥體通常必須用不銹鋼制造。