對真空爐進行維修后，要進行烘爐、必須對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。真空爐烘爐分三個階段：①水分排出期O～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，必須檢查真空爐真空度，同時保溫時間較長。②真空爐體放氣量大的溫度區(qū)一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時升溫不超過50℃/h。保溫時間一般在60分鐘以上③保溫期1200℃左右，加熱每升高100～200℃，要進行保溫一段時間，升溫過快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。  

    編制真空爐使用維護操作規(guī)程，建立真空爐運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強真空爐日常維護，掌握設備技術狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的維修，并根據真空爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備真空爐修理用零部件，編制真空爐運行維護方案。如真空爐加熱元件的使用壽命長短與工作溫度、真空爐內產品介質、產品數量及操作情況等許多因素有關，在每天24小時加工生產的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次．這取決于釬焊工作的類型和使用次數。真空爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續(xù)停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。在真空系統(tǒng)檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫(yī)用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發(fā)現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。